電子設(shè)備制造企業(yè)碳排放核算方法
報告主體進(jìn)行企業(yè)溫室氣體排放核算和報告的完整工作流程基本包括：
(1)確定核算邊界﹔
(2)識別并確定排放源；
(3)收集活動水平數(shù)據(jù)；
(4)選擇和獲取排放因子數(shù)據(jù)﹔
(5)分別計(jì)算化石燃料燃燒排放量、工業(yè)生產(chǎn)過程排放量、企業(yè)凈購入的電力和熱力產(chǎn)生的排放量；
(6)匯總計(jì)算企業(yè)溫室氣體排放量。
電子設(shè)備制造企業(yè)的溫室氣體排放總量應(yīng)等于邊界內(nèi)所有生產(chǎn)系統(tǒng)的化石燃料燃燒所產(chǎn)生的排放量、工業(yè)生產(chǎn)過程排放量，以及企業(yè)凈購入的電力和熱力產(chǎn)生的排放量之和。
1、化石燃料燃燒排放
化石燃料燃燒導(dǎo)致的二氧化碳排放量是企業(yè)核算和報告年度內(nèi)各化石燃料燃燒產(chǎn)生的二氧化碳排放量的加總。
2、工業(yè)生產(chǎn)過程排放
電子設(shè)備制造業(yè)的工業(yè)生產(chǎn)過程排放主要由刻蝕與CVD腔室清洗工序產(chǎn)生，過程中產(chǎn)生的溫室氣體排放由原料氣的泄漏與生產(chǎn)過程中生成的副產(chǎn)品（溫室氣體）的排放構(gòu)成。原料氣包括但不限于：NF₃、SF₆、CF₄、C2F₆、C₃F₈、C₄F₆、c-C₄F₈、c-C₄F₈O、C₅F₈、CHF₃、CH₂F₂、CH₃F。副產(chǎn)品包括但不限于：CF₄、C₂F₆、C₃F₈。

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電子設(shè)備制造企業(yè)碳排放核算邊界：
電子設(shè)備制造企業(yè)溫室氣體排放包括：化石燃料燃燒排放、工業(yè)生產(chǎn)過程排放及凈購入電力、熱力產(chǎn)生的排放。電子設(shè)備制造企業(yè)的工業(yè)生產(chǎn)過程排放主要來源于半導(dǎo)體生產(chǎn)中刻蝕與CVD腔室清洗工藝產(chǎn)生的排放。


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